這個標(biāo)準(zhǔn)在技術(shù)上已被全球公制委員會核準(zhǔn)，并由北美公制委員會直接負(fù)責(zé)。目前的版本在2001年3月1日被北美地區(qū)標(biāo)準(zhǔn)委員會核準(zhǔn)通過。2001年6月將在國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會試行，之后同月公布。其第一版公布于1986年，上一版公布于1999年6月。

　　1. 目的

　　1.1 這份文獻(xiàn)通過提供測試半導(dǎo)體制造設(shè)備在制造環(huán)境中的三性（可靠性、有效性、可維護(hù)性）的標(biāo)準(zhǔn)，為設(shè)備的使用者和供應(yīng)商之間的溝通建立了一個通用基礎(chǔ)。

　　2. 范圍

　　2.1 這份文獻(xiàn)定義了設(shè)備的6種基本狀態(tài)。它包括了設(shè)備的任何時間所有可能的狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài)由其功能狀況決定，而不管操作者是誰。在這里所做的對設(shè)備可靠性的測試強(qiáng)調(diào)的是對正在使用中的設(shè)備的突然中斷，而不是對設(shè)備的所有時間。

　　2.2 本文獻(xiàn)第三節(jié)（設(shè)備狀態(tài)）定義了如何對設(shè)備時間分類。第六節(jié)（三性測試）定義了測試設(shè)備狀態(tài)的公式。第七節(jié)（不確定測試）另外給出方法用來評估所得數(shù)據(jù)的統(tǒng)計意義。

　　2.3 有效的應(yīng)用這份規(guī)范需要設(shè)備的工作遵循它的周期及或時間。自動監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)是標(biāo)準(zhǔn)SEMIE58中的內(nèi)容，并不在本規(guī)范中。設(shè)備使用者與供應(yīng)商之間清晰有效的溝通將持續(xù)提高設(shè)備的工作狀況。

　　2.4 在這份規(guī)范中的三性的指數(shù)可以直接運(yùn)用于整個設(shè)備的非成套工具和子系統(tǒng)水平級。三性指數(shù)可以適用于子系統(tǒng)水平（例如過程模塊）的多路徑組工具。

　　2.5 這份標(biāo)準(zhǔn)雖然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求這個方面。它將是這個標(biāo)準(zhǔn)使用者的責(zé)任來建立合適的安全和健康條款，以及在使用前決定限制章程的運(yùn)用。

　　3. 參考標(biāo)準(zhǔn)
  　　SEMIE58-自動化的可靠性、有效性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)

　　注釋1：本文列出的所有文獻(xiàn)都使用其最新的適應(yīng)版本。

　　4. 術(shù)語

　　4.1 輔助 - 在一個設(shè)備周期中設(shè)備工作突然中斷時發(fā)生，它有以下三種情況：
　　   c 通過外部干涉使中斷的設(shè)備周期繼續(xù)。（比如通過操作工和使用者的干涉，無論它是人或電腦。）
　　   c 除了一些特殊的消耗品，零件不可替換。
　　   c 在設(shè)備操作規(guī)范方面沒有進(jìn)一步改變。

　　4.2 成組工具 - 由機(jī)械地連接在一起的集成過程模塊組成的制造系統(tǒng)。（這些模塊可能來自于同一或不同供應(yīng)商）

　　4.2.1 單路徑成組工具 - 只有一條流水線的成組工具。

　　4.2.2 多路徑成組工具 - 超過一條獨立流水線的成組工具。（比如，多負(fù)荷閘、同樣型號的多流程單元室）