4.20 總時(shí)間-一周7天，1天24小時(shí)的所有檢測時(shí)間。為了正確表達(dá)總時(shí)間，設(shè)備的所有6種基本狀態(tài)必須正確記錄。

　　4.21 培訓(xùn)（工作外）-在工作外時(shí)間對設(shè)備操作和維修進(jìn)行的指導(dǎo)。它包括于計(jì)劃外時(shí)間。

　　4.22 培訓(xùn)（線上）-在正常工作時(shí)對個(gè)人操作和維修進(jìn)行的指導(dǎo)。線上培訓(xùn)一般不會(huì)打斷正常的操作和維修活動(dòng)，所以它可以不被區(qū)別的包括在任何設(shè)備狀態(tài)中（除等待與計(jì)劃外時(shí)間）

　　4.23 單元-任何晶片，模，成套設(shè)備或單位零件。

　　4.24 工作時(shí)間-設(shè)備處于正常功能狀態(tài)的時(shí)間，包括有效生產(chǎn)的、等待的和策劃時(shí)間，不包括任何計(jì)劃外時(shí)間。

　　4.25 使用者-動(dòng)作于設(shè)備的實(shí)體，無論是在設(shè)備旁的操作者或在遠(yuǎn)處遙控的自動(dòng)界面。從設(shè)備的角度出發(fā)，操作者和宿主都是使用者。

　　4.26 校正運(yùn)行-設(shè)備的一次循環(huán)（使用產(chǎn)品單元，非產(chǎn)品單元或不成單元的）以用來引導(dǎo)設(shè)備進(jìn)入規(guī)范中的預(yù)定狀態(tài)。

　　5. 設(shè)備狀態(tài)

　　5.1 為了清楚地檢測設(shè)備地表現(xiàn)，本文獻(xiàn)定義了所有設(shè)備狀況和時(shí)期必須遵循地6種基本狀態(tài)。

　　5.2 設(shè)備狀態(tài)是由功能決定而不是由設(shè)備結(jié)構(gòu)決定。例如任何維護(hù)過程都是這樣分類，而不論誰是操作者、操作工、技術(shù)人員或流程工程師。

　　5.3 圖1是6種設(shè)備狀態(tài)的框架圖。關(guān)鍵的時(shí)間塊在后文的等式中將會(huì)特別用到。這些基本的設(shè)備狀態(tài)又可以分成許多子狀態(tài)，以滿足生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)所需的追蹤解決。SEMIE10并沒有列出所有的子狀態(tài)，但是給出了許多例子用以指導(dǎo)。



　　圖1 設(shè)備狀態(tài)框架圖

　　5.4 有效狀態(tài)-設(shè)備按預(yù)定功能工作的時(shí)間。有效狀態(tài)包括：
 　　c 常規(guī)生產(chǎn)（包括裝卸產(chǎn)品）
 　　c 為第三方工作
 　　c 返工
 　　c 與生產(chǎn)結(jié)合的操縱。可能是或不是產(chǎn)品單元（比如，分批和新運(yùn)用）。

　　5.5 等待狀態(tài)-在這段時(shí)間內(nèi)，設(shè)備是在正常功能狀態(tài)下，基礎(chǔ)設(shè)施和化學(xué)材料都準(zhǔn)備好了，但是不在生產(chǎn)。它不是計(jì)劃外的。等待狀態(tài)包括：
 　　c 沒有操作工（包括休息、午餐和會(huì)議）
 　　c 沒有產(chǎn)品（包括由于缺乏輔助設(shè)備比如計(jì)量工具造成的缺少產(chǎn)品）
 　　c 沒有輔助工具（例如密封盒、芯片傳輸器、探測卡）
 　　c 沒有從自動(dòng)系統(tǒng)來的輸入信號（例宿主）

　　5.6 工程狀態(tài)-設(shè)備處在正常功能狀態(tài)下（沒有設(shè)備和流程問題存在），但是用于工程實(shí)驗(yàn)的時(shí)間。包括：
 　　c 過程工程（過程塑造）
 　　c 設(shè)備過程（設(shè)備評估）
 　　c 軟件工程（例限定軟件）

　　5.7 計(jì)劃內(nèi)停工狀態(tài)-設(shè)備按計(jì)劃停止正常功能工作的一段時(shí)間。包括：